結構型式:三軸花崗巖、四面全環抱的德式活動橋式結構 傳動方式:直流伺服系統 預載荷高精度空氣軸承 長度測量系統:RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.1μm 測頭系統:雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針 機 臺:高精度(00級)花崗巖平臺 使用環境:溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h 空氣壓力:0.4 MPa - 0.6 Mpa 空氣流量:25 L/min 長度精度MPEe: ≤2.1 L/350 (μm) 探測球精度MPEp: ≤2.1μm